摘要：本文主要描述了台达电源在光刻机上的良好应用。光刻机由于严格的使用环境及对电源性能的特殊要求，使电源的选择显得非常慎重。光刻机在使用台达电源后，完全达到了设备的设计要求，也将台达电源优异功能展现得淋漓尽致。
关键字：台达 导轨式 电源 光刻机
引言：在电子行业高速发展的今天，工业设备的精密度不断得到提高，与此同时最终用户对产品本身的性能也提到了新的高度，这就给设备厂家在元器件选择方面提出了更高的要求。而在电源的使用上目前工业设备在低压电源方面使用上有平板和导轨两种安装方式，而两种不同的安装方式也对应不同的性能指标。导轨式电源优异的性能，与生具来的导轨紧凑式安装方式，也越来越得到各个设备厂家的青睐！台达导轨式电源也应运而生，满足了广大用户的要求。
一、光刻机设备介绍
激光标刻机的核心部件是YLM系列单模连续波段掺镱光纤激光模块，主要为免维护的OEM应用面设计。YLM二极管泵浦光纤激光通过一条带有金属护套的单模光纤传导光束直径为1.07微米，接近衍射极限（M2＜1.05）高质量激光束，高可靠性的直流电源在SCAPS公司专用控制卡的控制下驱动单模连续波段掺镱光纤激光模块、单模连续波段掺镱光纤激光模块发出的970±10nm的激光被耦合到加金属护套的5mm传输光纤中使掺镱双包层光纤中产生1.06微米波长的激光，激光在传输过程中不断被放大后扩束输出。扩束后的激光束投射到振镜扫描器上，通过计算机控制振镜快速转动及激光的开关，使激光束在X、Y方向扫描，通过F-θ透镜聚集形成几微米直径的光斑作用于加工工件上，使之表面瞬间烧蚀，最后在件表面形成需要的各种图形符号。
1、整机结构紧凑，占用空间小，与进口贴片分选设备充分兼容，接口直接配合、简单易用。
2、基础配置，采用进口Fiber（光纤）小功率风冷激光器，高速振镜扫描系统，打印准确精致。
3、激光打印系统控制核心，LaserMarkingSystem购筑在WindowsXP平台上，控制软件采用SCAPS软件，控制卡采用高速USB2.0控制输入，性能卓越稳定，使用操作简便，并可根据客户的需求，随时升级程序。
4、根据客户需求，可实现脱机运行操控，一台电脑主机操作多台激光打印终端，标刻终端由PDA操控。
5、国内首创，更小巧，更灵活。
6、直接编辑印章和同时打印多种规格印章，自动记数功能，随意设置标刻数量及统计所标记管子总数，设置数值高达十亿位数。
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二、台达电源在光刻机上成功应用
1、电压要求
光刻设备工作电压为直流28V，台达最大输出直流电压为28V，完全符合使用要求。
2、使用方式要求
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需要有正负28V电源输出，第一个电源正端与第二个电源的负端共地使用，而且两个输出相互之间不能互扰。
