太阳诱电试制出新款超声波马达，用于驱动的压电元件采用了（Sr，Ca）NaNb5O15（该公司称之为“SCNN”）的产品，并在于07年10月2日开幕的“CEATECJAPAN2007”展会上进行了展示（图1）。主要用途设想用于手机的自动对焦和抖动补偿。原来的压电元件，其材料大多采用含铅的PZT（锆钛酸铅）。该公司认为，今后对无铅压电致动器（Actuator）的需求将会增加，所以进行了开发。

    无铅压电元件材料目前还存在一个课题：对应于输入电压的位移量低于PZT。此次使用的SCNN的位移量仅为PZT的1/10左右。因此，该公司采用了通过增加元件构成层数来确保位移量的方法。此次展出的压电元件的外形尺寸为1mm×1mm×1mm。每层的厚度为18μm，共层叠了36层（图2）。层叠技术应用了积层陶瓷电容器（MLCC）中采用的印刷和烧制技术。

    超声波马达采用了“双重弯曲式悬臂马达”构造，将4个压电元件排列在一起安装在悬臂上面，然后旋转悬臂（图3）。在按照2×2方式排列的压电元件的中央设置悬臂。向对角元件输入交流电，并使相邻元件之间的相位分别出现90°的差值。这样一来，悬臂前端就会像做圆周运动似的振动。通到悬臂前端的环形转子因摩擦力而与悬臂逆向旋转。

    今后的开发课题是如何降低压电元件的驱动电压。目前，驱动电压p-p值高达6V（±3V）。今后将通过增加层叠数、减小每层的厚度来降低驱动电压。耗电量方面，SCNN的阻抗比PZT高，即便是试制品其耗电量也低于1mW。（